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Equipements

by Alexandre Tallaire - published on , updated on

Réacteurs de croissance diamant monocristallin
Ces réacteurs micro-onde à cavité résonnante fonctionnant à haute densité de puissance micro-onde (jusqu’à 4kW) ont été développés au laboratoire. Nous disposons de 2 réacteurs à cavité métallique et 2 réacteurs de type bell-jar avec ou sans dopage par le bore.

Bell jar reactor Plassys BJS150
Bell jar reactor Plassys BJS150
Metallic chamber reactor
Metallic chamber reactor

Réacteur pour le diamant à basse température
Ce réacteur utilise des sources micro-onde à antenne distribuées. Il permet le dépôt de films nanocristallins à basse température (<200°C) et sur de grandes surfaces (4').

Distributed Antenna Array reactor
Distributed Antenna Array reactor

Réacteur bell-jar pour le graphène et les nanotubes
Ce réacteur micro-onde à cavité résonante de type bell-jar permet le dépôt de films nanocristallins à base puissance et la croissance d nanotubes de carbone ou de films de graphène.

Low power density bell-jar reactor
Low power density bell-jar reactor

Equipements de caractérisation
Nous disposons d’une large gamme de systèmes de caractérisation optique, structurale ou électrique des films minces réalisés.

DiamondView
DiamondView
To measure the photoluminescence under UV light
Keyence VK9700
Keyence VK9700
To measure surface profiles in 3D
Electrical measurements
Electrical measurements
C(V), I(V), 4 point probes, Time of Flight
Cathodoluminescence Jobin Yvon HCLUE
Cathodoluminescence Jobin Yvon HCLUE

+ Raman, SEM (EBSD,EDX), TEM, AFM, XRD

Traitement/préparation
Nous disposons de systèmes permettant de polir ou de changer l’état de surface du diamant.

Scaife polishing system
Scaife polishing system
Ozone
Ozone

+ accès à une salle blanche à Paris 13: lithographie, gravure ICP, dépôt PVD